1、基本参数：

• 型号：KQ-T800SE.DZ
• 整机尺寸：3000*1000*2350mm
• 内槽尺寸：400*400*400mm
• 超声频率：80kHz
• 超声功率：800W
• 超声功率可调范围：40-100%
• 温度设定范围：室温-80℃
• 干燥温度设定范围：室温-98℃
• 加热功率：6KW
• 过滤回收：有
• 清洗介质：乙醇/丙酮
• 工作时间可调：1-480min

2、行业：半导体

3、用途：用于晶圆的无损清洗。

4、设备：该清洗机主要由超声波清洗槽、超声波漂洗槽、浸泡槽、高压冲洗系统、干燥系统、溶液回收系统、消防系统、防爆系统、冷凝系统、吸风系统、操控系统等组成。

5、清洗流程：自动上料→纯水超声清洗→有机溶剂超声漂洗→酸碱浸泡→高压淋洗→风切干燥→自动下料。

6、特点：无损清洗晶圆上的粉尘、颗粒，因使用易燃易爆溶液，该设备具有绝对的安全性。